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科研机构
河北大学 [8]
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期刊论文 [6]
专利 [2]
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2012 [1]
2009 [2]
2008 [2]
2007 [2]
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用于Cu互连的Ta/Ti-Al集成薄膜的结构和阻挡性能
期刊论文
功能材料, 2012, 卷号: 43, 期号: 4, 页码: 462-464
作者:
任国强[1]
;
邢金柱[2]
;
李晓红[3]
;
郭建新[4]
;
代秀红[5]
收藏
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2019/12/21
Cu互连
阻挡层
Ta/Ti-Al
射频磁控溅射
蓝宝石衬底上磁控溅射法室温制备外延ZnO薄膜
期刊论文
人工晶体学报, 2009, 卷号: 38, 期号: 1, 页码: 74-78
作者:
周阳[1]
;
仇满德[2]
;
付跃举[3]
;
邢金柱[4]
;
霍骥川[5]
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/21
ZnO薄膜
射频磁控溅射
外延生长
磁控溅射法制备用作铜互连阻挡层的钛-铝薄膜
期刊论文
机械工程材料, 2009, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 83-86
作者:
邢金柱[1]
;
刘保亭[2]
;
霍骥川[3]
;
周阳[4]
;
李晓红[5]
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/21
铜互连
阻挡层
钛-铝薄膜
射频磁控溅射
用于Cu互连阻挡层的非晶Ni-Al薄膜研究
期刊论文
功能材料, 2008, 卷号: 39, 期号: 12, 页码: 2005-2007
作者:
霍骥川[1]
;
刘保亭[2]
;
邢金柱[3]
;
周阳[4]
;
李晓红[5]
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/31
Cu互连
Ni-Al
扩散阻挡层
一种用于铜互连的导电阻挡层材料及制备方法
专利
申请日期: 2008-01-01, 公开日期: 2008-10-15
作者:
刘保亭[1]
;
马良[2]
;
邢金柱[3]
;
霍骥川[4]
;
边芳[5]
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/31
一种用于铜互连的导电阻挡层材料及制备方法
专利
申请日期: 2007-01-01, 公开日期: 2008-03-26
作者:
刘保亭[1]
;
马良[2]
;
霍骥川[3]
;
邢金柱[4]
;
边芳[5]
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/31
五台山朝圣旅游项目4Ps营销模式探索
期刊论文
商场现代化, 2007, 期号: 3, 页码: 244
作者:
刘金柱[1]
;
邢慧斌[2]
;
史玉江[3]
收藏
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提交时间:2019/12/31
五台山
朝圣旅游
项目设计
可行性
荆轲刺秦专题旅游开发的可行性分析
期刊论文
保定师范专科学校学报, 2006, 卷号: 19, 期号: 3, 页码: 103-104
作者:
刘金柱[1]
;
邢慧斌[2]
;
段艳丽[3]
收藏
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提交时间:2019/12/31
荆轲刺秦
旅游开发
可行性
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