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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于粒子群算法的光刻机光源掩模投影物镜优化技术 学位论文 作者:  王磊 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻  optical lithography  分辨率增强技术  resolution enhancement technique  光源掩模投影物镜优化  source mask projector optimization  粒子群算法  particle swarm optimization