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上海光学精密机械研究... [4]
长春光学精密机械与物... [1]
西安光学精密机械研究... [1]
内容类型
会议论文 [2]
学位论文 [2]
期刊论文 [2]
发表日期
2021 [1]
2016 [1]
2015 [2]
2010 [1]
2007 [1]
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Research on High Precision Locating of Laser Spot Center in Free-Space Laser Communication System
会议论文
Xi'an, China, 2021-10-15
作者:
Meng, Xiangsheng
;
Ma, Caiwen
;
Tian, Yan
;
Han, Junfeng
;
Liang, Dongsheng
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2021/12/06
laser communication
laser spot centroid
bilinear interpolation
hardware implementation
光栅剪切干涉波前测量技术研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
李杰
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浏览/下载:209/0
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提交时间:2016/11/28
波前测量
横向剪切干涉
波前重建
光栅元件
系统误差
光刻投影物镜波像差原位干涉检测技术研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:
吴飞斌
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浏览/下载:80/0
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提交时间:2016/11/28
光刻投影物镜
1xnm节点
波像差原位检测
Ronchi剪切干涉仪
相位提取
Ronchi相移剪切干涉仪及其相位提取误差分析
期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 6, 页码: 612004
作者:
吴飞斌
;
唐锋
;
王向朝
;
李杰
;
李永
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2016/11/28
Analysis of measuring errors for the visible light phase-shifting point diffraction interferometer (EI CONFERENCE)
会议论文
2010 OSA-IEEE-COS Advances in Optoelectronics and Micro/Nano-Optics, AOM 2010, December 3, 2010 - December 6, 2010, Guangzhou, China
Zhang Y.
;
Jin C.
;
Lu Z.
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2013/03/25
In order to improve the measuring accuracy of the visible light phase-shifting point diffraction interferometer (PS/PDI) for the extreme ultraviolet lithography (EUVL) aspheric mirrors
the main measuring errors will be discussed in this paper. At first
the elementary configuration and measuring principle of the visible light phase-shifting point diffraction interferometer are introduced briefly
then the different errors which are possible to affect the measuring result are summed up
the errors include PZT phase-shifting error
detector nonlinearity error
detector quantization error
wavelength instability error and intensity instability error of the laser source
vibration error
air refractivity instability error and so on. Through detailed analysis and simulation
the magnitude of these errors can be obtained. By analysing the reasons which cause these errors and the relationship between these errors and interferometer configuration parameters
some methods are put forward to avoid or restrain these errors accordingly.
消除正弦相位调制干涉仪中光强调制影响的全光纤干涉仪
期刊论文
中国激光, 2007, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 1267, 1270
李中梁
;
王向朝
;
刘英明
;
步扬
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浏览/下载:1034/189
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提交时间:2009/09/18
测量
measurement
干涉仪
interferometer
正弦相位调制
sinusoidal phase-modulating
实时测量
real-time measurement
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