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| 基于力-化-电耦合理论的电极结构有限元模拟及结构优化 学位论文
北京: 中国科学院大学, 2018
作者: 温济慈
  收藏 | 浏览/下载：189/0 | 提交时间：2018/12/06
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| Ti和TiN薄膜的制备以及残余应力的测试方法研究 期刊论文
集成技术, 2017
作者: 石磊; 蒋春磊; 唐永炳
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2018/02/02 |
| 柔性衬底上薄膜的残余应力测量 期刊论文
计量与测试技术, 2017, 页码: 48-50
作者: 洪正[1]; 帅红俊[2]; 殷路桥[3]; 张建华[4]
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/04/26
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| 旋转磨削硅片加工应力与亚表面损伤的研究 期刊论文
金刚石与磨料磨具工程, 2016, 卷号: 36, 页码: 23-27
作者: 许善策; 曹治赫; 王紫光; 周平
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/12/09
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| 曲率测量技术在微机电系统薄膜残余应力测量中的应用 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=JXXB200703014&dbname=CJFQ2007, 2012, 2012
虞益挺; 苑伟政; 乔大勇
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2017/06/19
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| 在不同环境条件下HfO2/SiO2膜堆的应力变化 学位论文
硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2008
张丽莎
收藏 | 浏览/下载：78/0 | 提交时间：2013/11/19
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| 在不同环境条件下HfO2/SiO2膜堆的应力变化 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2008
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收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2016/11/06
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| 氧分压对HfO_2薄膜残余应力的影响及有限元分析 期刊论文
强激光与粒子束, 2008, 卷号: 20, 期号: 6, 页码: 894-898
张丽莎; 许鸿
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2015/05/18 |
| 微机电系统中SU-8厚光刻胶的内应力研究 期刊论文
光学精密工程, 2007, 卷号: 15, 页码: 1377-1382
作者: 杜立群; 朱神渺
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/12/27
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| 沉积温度对HfO2薄膜残余应力的影响 期刊论文
强激光与粒子束, 2005, 卷号: 17, 期号: 12, 页码: 1812, 1816
申雁鸣; 贺洪波; 邵淑英; 范正修; 邵建达
收藏 | 浏览/下载：564/107 | 提交时间：2009/09/22
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