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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Tomographic observation of integrated circuit based on X-ray microscopy 期刊论文 Proceedings of SPIE, 2015, 卷号: 9672, 页码: 96720R 作者:  Xi;  XQ;  Li;  L;  Yan 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2016/04/18 Integrated circuit  nanotomography  X-ray microscopy  Three-dimensional imaging  BSRF   一种控制硅深刻蚀损伤方法的研究 会议论文 第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集, 第十届全国敏感元件与传感器学术会议, 中国北京, CNKI, 全国敏感元件与传感器学术团体联合组织委员会 阮勇; 叶双莉; 张大成; 任天令; 刘理天; RUAN Yong; YE Shuang-li; ZHANG Da-cheng; REN Tian-ling; LIU Li-tian 收藏  |  浏览/下载：7/0 一种控制硅深刻蚀损伤方法的研究 期刊论文 2010, 2010 阮勇; 叶双莉; 张大成; 任天令; 刘理天; RUAN Yong; YE Shuang-li; ZHANG Da-cheng; REN Tian-ling; LIU Li-tian 收藏  |  浏览/下载：2/0 SOI micro-accelerometer fabricated with anti-Footing technique 期刊论文 nami jishu yu jingmi gongchengnanotechnology and precision engineering, 2010 Mao, Xu; Yang, Zhen-Chuan; Li, Zhi-Hong; Yan, Gui-Zhen 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/13 Performance Comparison of Methods to Evading Notching Effect for SOG Structures in DRIE 其他 2009-01-01 Ding, Haitao; Yang, Zhenchuan; Yan, Guizhen 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2015/11/10 conducting layer  deep reactive ion etching  notching effect  silicon on glass  SILICON BACKSIDE DAMAGE   An improved method employed in anodic bonded glass-silicon gyroscopes to avoid footing effect in DRIE 其他 2004-01-01 Fan, J; Zhu, Y; Yang, ZC; Zhou, J; Liu, XS; Yan, GZ 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/13 footing effect  DRIE lag effect  glass-silicon anodic bonding  SGADER  BACKSIDE DAMAGE