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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 An Improved Method to Remove Anti-Footing Al Layer after DRIE 其他 2009-01-01 Li, Yuan; Yang, Zhenchuan; Yan, Guizhen 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2015/11/10 anti-footing  DRIE  footing effect  SGADER   A wafer-level protective technique using glass caps for MEMS gyroscopes 其他 2007-01-01 Haitao, Ding; Zhenchuan, Yang; Zhiyong, Chen; Rong, Zhang; Guizhen, Yan 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/10 An improved method employed in anodic bonded glass-silicon gyroscopes to avoid footing effect in DRIE 其他 2004-01-01 Fan, J; Zhu, Y; Yang, ZC; Zhou, J; Liu, XS; Yan, GZ 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/13 footing effect  DRIE lag effect  glass-silicon anodic bonding  SGADER  BACKSIDE DAMAGE   An improved method employed in anodic bonded glass-silicon gyroscopes to avoid footing effect in DRIE 其他 2004-01-01 Fan, Jie; Zhu, Yong; Yang, Zhenchuan; Zhou, Jian; Liu, Xuesong; Yan, Guizhen 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/13