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Run-to-Run Control for Semiconductor Manufacturing Processes using Extended State Observer 会议论文
28th Chinese Control and Decision Conference, 2016-01-01
作者:  Wang, Haiyan[1];  Tan, Fei[2];  Sheng, Biqi[3];  Bian, Jun[4];  Pan, Tianhong[5]
收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2019/12/24
Run-to-Run Control for Semiconductor Manufacturing Processes using Extended State Observer 会议论文
PROCEEDINGS OF THE 28TH CHINESE CONTROL AND DECISION CONFERENCE (2016 CCDC)
作者:  Wang, Haiyan[1];  Tan, Fei[2];  Sheng, Biqi[3];  Bian, Jun[4];  Pan, Tianhong[5]
收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2019/12/24
Survey on Run-to-Run Control Algorithms in High-Mix Semiconductor Manufacturing Processes 期刊论文
IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL INFORMATICS, 2015, 卷号: 11, 期号: 6, 页码: 1435-1444
作者:  Tan, Fei[1];  Pan, Tianhong[2];  Li, Zhengming[3];  Chen, Shan[4]
收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2019/12/24
半导体制造过程R2R控制方法研究进展 期刊论文
现代制造工程, 2013, 期号: 3, 页码: 4-10,99
作者:  胡静涛
收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2013/10/05
CMP过程Run-to-Run预测控制方法研究 学位论文
博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012
王亮
收藏  |  浏览/下载：231/0  |  提交时间：2012/07/27
基于神经网络的CMP过程智能R2R预测控制 期刊论文
半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 4, 页码: 305-311
作者:  胡静涛
收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/10/24
CMP过程多变量免疫预测R2R控制方法 期刊论文
仪器仪表学报, 2012, 卷号: 33, 期号: 11, 页码: 2586-2593
作者:  王亮;  胡静涛
收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2012/12/28
基于LS-SVM的光刻过程R2R预测控制方法 期刊论文
半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 6, 页码: 482-488
作者:  胡静涛
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/10/24
基于模糊模型的CMP过程智能R2R预测控制方法 期刊论文
计算机测量与控制, 2012, 卷号: 20, 期号: 6, 页码: 1558-1561
作者:  胡静涛
收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/12/28
基于LS-SVM模型和扰动估计的光刻过程智能R2R预测控制 期刊论文
计算机测量与控制, 2012, 卷号: 20, 期号: 8, 页码: 2124-2126, 2142
作者:  胡静涛
收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/12/28

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