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Dynamic fabrication of microfluidic systems for particles separation based on optical projection lithography 期刊论文
Biomedical Microdevices, 2020, 卷号: 22, 期号: 4, 页码: 1-7
作者:  Sun LJ(孙路静);  Yang WG(杨文广);  Chu HH(褚洪汇);  Yang, Rendi;  Yu HB(于海波)
收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2020/11/28
Design and Assessment of a 6-DOF Micro/Nanopositioning System 期刊论文
Ieee-Asme Transactions on Mechatronics, 2019, 卷号: 24, 期号: 5, 页码: 2097-2107
作者:  D.F.Zhang;  P.Z.Li;  J.G.Zhang;  H.N.Chen;  K.Guo
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2020/08/24
Fabrication of Electromagnetically-Driven Tilted Microcoil on Polyimide Capillary Surface for Potential Single-Fiber Endoscope Scanner Application. 期刊论文
MICROMACHINES, 2018
作者:  Sun, Bin;  Sawada, Renshi;  Ding, Guifu;  Yang, Zhuoqing;  Shi, Jianhao
收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2019/01/31
Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2019/09/17
Key technology progress of optomechanical systems in 193 nm projection objective 期刊论文
Zhongguo Kexue Jishu Kexue/Scientia Sinica Technologica, 2017, 卷号: 47, 期号: 6
作者:  Zhang, D.;  X. Li;  D. Rui;  P. Li;  L. Dong and J. Zhang
收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2018/06/13
基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  方伟
收藏  |  浏览/下载：121/0  |  提交时间：2016/11/28
Method of pupil shaping for off-axis illumination in optical lithography 期刊论文
J. Opt. Technol., 2016, 卷号: 83, 期号: 3, 页码: 154
作者:  Chen, Ming;  Huang, Huijie;  Yang, Baoxi;  Zhu, Jing;  Zeng, Aijun
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2017/12/25
Method of pupil shaping for off-axis illumination in optical lithography 期刊论文
J. Opt. Technol., 2016, 卷号: 83, 期号: 3, 页码: 154
作者:  Huang, Huijie;  Chen, Ming;  Zhang, Fang;  Zeng, Aijun;  Zhu, Jing
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2017/12/25
极紫外光学薄膜元件表面抗污染保护层及相关技术研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:  王珣
收藏  |  浏览/下载：61/0  |  提交时间：2015/11/30
Calibrating the pupil fill balance for hypernumerical aperture lithographic objective 期刊论文
Optical Engineering, 2015, 卷号: 54, 期号: 9, 页码: 6
作者:  Rui, D. W.;  W. Zhang and H. J. Yang
收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/07/15

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