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Fully Integrated Photoacoustic NO2 Sensor for Sub-ppb Level Measurement 期刊论文
SENSORS, 2020, 卷号: 20
作者:  Dong, Yang;  Gu, Mingsi;  Zhu, Gongdong;  Tan, Tu;  Liu, Kun
收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2020/11/26
Mems devices and processes 专利
专利号: GB2565375A, 申请日期: 2019-02-13, 公开日期: 2019-02-13
作者:  TSJERK HANS HOEKSTRA
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2019/12/30
An energy-efficient multistage charge pump for MEMS microphone 期刊论文
IEICE ELECTRONICS EXPRESS, 2017, 卷号: 14
作者:  Wei, Rongshan;  Wang, Jue
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/11/21
Integrated Manufacturing of Microphone-array Node for Wireless Sensor Network (WSN) 会议论文
17th International Conference on Electronic Packaging Technology (ICEPT), 2016-08-16
作者:  Xu, Gaowei[1];  Gai, Wei[2];  Zheng, Tao[3];  Liang, Defeng[4];  Luo, Le[5]
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/04/26
基于圆形振动膜的MEMS压电传声器研究 期刊论文
机械工程学报, 2012, 卷号: 48, 期号: 18, 页码: 85-88
作者:  李俊红;  汪承灏;  刘梦伟
收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2021/10/18
用于压电和电容微麦克风的体硅腐蚀相关研究 期刊论文
2010, 2010
贾泽; 杨轶; 陈兢; 刘建设; 任天令; 刘理天; JIA Ze; YANG Yi; CHEN Jing; LIU Jian-she; REN Tian-ling; LIU Li-tian
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Influence of stress on the performance of PZT thin films for microphone application 会议论文
INTEGRATED FERROELECTRICS, 16th International Symposium on Integrated Ferroelectrics/5th Korean Workshop on High Dielectric Devices and Materials, Gyeongju, SOUTH KOREA, Web of Science, INSPEC
Zhang, NX; Yang, Y; Wu, XM; Ren, TL; Liu, LT
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Measurements of ferroelectric MEMS microphones 会议论文
INTEGRATED FERROELECTRICS, 16th International Symposium on Integrated Ferroelectrics/5th Korean Workshop on High Dielectric Devices and Materials, Gyeongju, SOUTH KOREA, Web of Science, INSPEC
Wu, XM; Yang, Y; Cai, J; Ren, TL; Liu, LT
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A Novel Preamplifier for MEMS Microphone 会议论文
中国, 2009
作者:  Hua SL(华斯亮)
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2021/09/29
无线传感器网络中的声目标识别问题研究 学位论文
博士, 声学研究所: 中国科学院声学研究所, 2008
管鲁阳
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2011/05/07

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