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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜 期刊论文 传感技术学报, 2006 栗大超; 吴文刚; 袁勇; 陈庆华; 郝一龙; 胡小唐 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/11 MEMS 扭转微镜 硅微加工 SOI 复合驱动 表面粗糙度 MEMS torsion micromirror silicon micromachining SOI compound driving structures surface roughness