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科研机构
大连理工大学 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2018 [1]
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Usage of Janus green B for the improvement of the filling effect during replication process of nanoimprint nickel stamp
期刊论文
MICRO & NANO LETTERS, 2018, 卷号: 13, 页码: 24-26
作者:
Zhang, Ran
;
Zheng, Yongguang
;
Liu, Ze
;
Chu, Jinkui
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提交时间:2019/12/02
nickel
nanolithography
filling
electrodeposition
electroforming
seals (stoppers)
Janus green B
filling effect
replication process
nanoimprint nickel stamp
void elimination
JGB molecules
high aspect ratio nanotrenches
nanoelectroforming process
electron density
metal deposition rate
sealing phenomenon
electrodeposition process
depth 200 nm
size 80 nm
Ni
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