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Hot filament chemical vapor deposition temperature field optimization for diamond films deposited on silicon nitride substrates
期刊论文
MATERIALS RESEARCH EXPRESS, 2021, 卷号: 8, 期号: 11, 页码: 15
作者:
Wu, Yuhou
;
Zhang, Huisen
;
Yan, Guangyu
;
Liu, Lusheng
;
Cristea, Daniel
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浏览/下载:35/0
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提交时间:2021/12/09
HFCVD
diamond film
numerical simulation
Effect of sputtered Mo interlayers on Si (100) substrates for the deposition of diamond film by hot filament chemical vapor deposition
期刊论文
Surface and Coatings Technology, 2013, 卷号: 232, 页码: 456-463
作者:
Wei, Qiuping
;
Yang, Taimin
;
Zhou, K.C.
;
Ma, Li
;
Zheng, P.
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/12/03
Diamond films
Filament-substrate distance
Hot filament chemical vapor deposition (HFCVD)
Mo interlayer
Si (100)
Ultra-smooth nano-crystalline diamond
Diamond growth on WC-Co substrates by hot filament chemical vapor deposition: Effect of filament-substrate separation
期刊论文
Diamond and Related Materials, 2011, 卷号: 20, 期号: 5-6, 页码: 641-650
作者:
Wei, Qiuping
;
Ashfold, Michael N. R.
;
Mankelevich, Yu A.
;
Yu, Z. M.*
;
Liu, P. Z.
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/03
CVD diamond films
Hot filament chemical vapor deposition (HFCVD)
Filament–substrate distance
Raman spectroscopy
Gas phase modeling
Raman Spectroscopic Study on Silicon Films Prepared by Catalytic Chemical Vapor Deposition
会议论文
第十三届亚洲化学会, china, 2009-9-13
程士敏
;
任通
;
冯兆池
;
应品良
;
李灿
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2011/07/11
Synthesis of thin diamond films from faceted nanosized crystallites
期刊论文
CURRENT APPLIED PHYSICS, 2009, 卷号: 9, 期号: 3, 页码: 5
Rakha, SA
;
Yang, SM(杨树敏)
;
He, ZT(贺周同)
;
Ahmed, I
;
Zhu, DZ(朱德彰)
;
Gong, JL(巩金龙)
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/04/11
Hot filament CVD
Nanocrystalline
Diamond films
Electron microscopy
Structual and optoelectronic properties of polycrystalline silicon thin films prepared by hot-wire chemical vapor deposition at low temperatures
期刊论文
Acta physica sinica, 2003, 卷号: 52, 期号: 11, 页码: 2934-2938
作者:
Wang, LJ
;
Zhu, MF
;
Liu, FZ
;
Liu, JL
;
Han, YQ
收藏
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2019/05/12
Polycrystalline silicon
Hot-wire cvd
Optoelectronic properties
Influence of heated catalyzer on thermal distribution of substrate in hwcvd system
期刊论文
Thin solid films, 2003, 卷号: 430, 期号: 1-2, 页码: 50-53
作者:
Zhang, Q
;
Zhu, M
;
Wang, L
;
Liu, E
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2019/05/12
Catalyzer
Hot-wire chemical vapor deposition
Simulation
Simulations of temperature field in HFCVD diamond films over large area
期刊论文
Journal of Materials Science & Technology, 2003, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 22-26
A. Y. Wang
;
C. Sun
;
R. F. Huang
;
L. S. Wen
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2012/04/14
HFCVD
diamond film
temperature field
simulation
chemical vapor-deposition
heat-transfer
growth
plasma
phase
gas
Influence of heated catalyzer on thermal distribution of substrate in HWCVD system
期刊论文
thin solid films, 2003, 卷号: 430, 期号: 1-2, 页码: 50-53
Zhang Q
;
Zhu M
;
Wang L
;
Liu E
收藏
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浏览/下载:35/0
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提交时间:2010/08/12
catalyzer
hot-wire chemical vapor deposition
simulation
AMORPHOUS-SILICON
DEPOSITION
Influence of heated catalyzer on thermal distribution of substrate in HWCVD system
会议论文
2nd international conference on cat-cvd (hot-wire cvd) process, denver, colorado, sep 10-13, 2002
Zhang Q
;
Zhu M
;
Wang L
;
Liu E
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2010/11/15
AMORPHOUS-SILICON
DEPOSITION
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