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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Micro-pressure sensor dynamic performance analysis 期刊论文 SENSOR REVIEW, 2014, 卷号: 34, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 367-373 作者:  Tian, Bian;  Zhao, Yulong;  Niu, Zhe;  Jiang Zhuangde 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/02 Dynamic  Micro-pressure  Cross-beam membrane (CBM) structure  Piezoresistive   A high sensitivity and high linearity pressure sensor based on a peninsula-structured diaphragm for low-pressure ranges 期刊论文 sensors and actuators a physical, 2014 Huang, Xian; Zhang, Dacheng 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2015/11/10 MEMS pressure sensor  Peninsula-structured diaphragm  Sensitivity and linearity  FEM  Sensor fabrication  SIMULATION  SILICON  BOSS