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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Fabrication of 3D Electro-Thermal Micro Actuator in silica glass by femtosecond laser wet etch and microsolidics 会议论文 作者:  Li, Qichao;  Shan, Chao;  Yang, Qing;  Chen, Feng;  Bian, Hao 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2019/11/26 3D solenoid microchannel  femtosecond laser  wet etching  electro-thermal micro actuators  silica glass  micro-nano manufacturing