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液力剪撑式水中升降旋转台的关键技术研究 学位论文
2019
作者:  掌昕
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大型高精度衍射光栅刻划机分度系统重载工作台的宏定位实现方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  姚雪峰
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HMC63数控机床电气控制策略研究与实现 学位论文
2018
作者:  孔德红
收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2020/11/05
一种激光淬火熔覆机床装置 专利
专利号: CN205741098U, 申请日期: 2016-11-30, 公开日期: 2016-11-30
作者:  吴瑞明;  王如心
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2019/12/26
基于双频激光干涉仪的精密定位系统设计 期刊论文
实验室研究与探索, 2016, 期号: 11, 页码: 72-75
作者:  陈昊;  陈琦;  蒋贵德
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2017/09/17
薄型高精度静压回转工作台结构 专利
申请日期: 2016-06-01,
作者:  陈耀龙;  卢秉恒;  张朋海;  查俊
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/12/02
大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071
作者:  陈琦
收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2017/09/17
光刻机工作台运动控制中的若干关键问题 期刊论文
2016, 2016
滕伟; 穆海华; 周云飞; TENG Wei; MU Haihua; ZHOU Yunfei
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一种薄型高精度静压回转工作台结构 专利
申请日期: 2016-03-23,
作者:  陈耀龙;  卢秉恒;  张朋海;  查俊
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五轴数控机床几何误差建模与误差溯源 学位论文
2016
作者:  何小龙
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2020/11/05


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