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科研机构
上海大学 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2008 [1]
2006 [1]
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静电硅微多折叠梁谐振器设计和试验研究
期刊论文
中国机械工程, 2008, 卷号: 19, 页码: 1669-1673
作者:
赵江铭[1]
;
杨杰伟[2]
;
孙俊杰[3]
;
吴晓铃[4]
;
陈晓阳[5]
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提交时间:2019/05/06
微型机电系统
静电硅微多折叠梁谐振器
横向振动模型
试验研究
谐振频率
横向梳状硅微静电谐振器机械性能分析与实验研究
学位论文
: 上海大学, 2006
作者:
赵江铭[1]
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提交时间:2019/05/10
多折叠支撑梁
弓型支撑梁
横向振动
梳状硅微静电谐振器
MEMS
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