QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者:  方超 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/09/23 系统波像差  光栅横向剪切干涉  相位复原算法  零级串扰误差  重复精度   抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量 期刊论文 中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144 作者:  方超;  向阳;  齐克奇 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/09/17 测量  光栅  相位  干涉  串扰  重复精度   十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法 期刊论文 中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187 方超; 向阳 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2015/04/17 测量  横向剪切干涉仪  相移算法  相位复原