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西安交通大学 [1]
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2014 [1]
2009 [1]
2006 [1]
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射频磁控溅射制备MoS薄膜及其储锂性能研究
期刊论文
无机化学学报, 2014, 卷号: 第30卷, 页码: 2043-2048
作者:
王丽秀
;
魏林
;
陶占良
;
陈军
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/02/27
MoS2薄膜
射频磁控溅射
锂离子电池
N掺杂对a-SiC:H基介质扩散阻挡层结构及性能的影响
期刊论文
物理学报, 2009, 期号: 3, 页码: 2042-2048
作者:
刘波
;
唐文进
;
宋忠孝
;
陈亚芍
;
徐可为
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/18
非晶掺氮碳化硅基薄膜(a-SiCNx:H)
介质扩散阻挡层
铜扩散
非晶a-SiC:H薄膜
HfO_2/Si(001)界面层的TEM研究
期刊论文
电子显微学报, 2006, 期号: S1, 页码: 95-96
卓木金
;
马秀良
收藏
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浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2012/04/12
界面层厚度:7807
栅介质层:3216
相对介电常数:2195
薄膜:2048
二氧化硅:1902
氧化铪:1889
透射电子显微镜:1813
等效厚度:1778
退火温度:1778
化学成分:1696
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