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科研机构
上海光学精密机械研究... [2]
光电技术研究所 [1]
内容类型
学位论文 [2]
期刊论文 [1]
发表日期
2016 [1]
2015 [1]
学科主题
光学工程 [1]
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基于遗传算法的光刻机光源掩模优化技术研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
杨朝兴
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浏览/下载:65/0
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提交时间:2016/11/28
光刻
分辨率增强技术
光源掩模优化
遗传算法
基于微反射镜阵列的光刻照明模式变换系统设计
期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 11, 页码: 102-111
作者:
邢莎莎
;
冉英华
;
江海波
;
邢廷文
收藏
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2016/11/01
成像系统
照明模式变换
自由照明光瞳
微反射镜阵列
光束整形
非球面复眼
高端光刻机照明系统智能均匀性校正技术研究
学位论文
作者:
程伟林
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浏览/下载:110/0
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提交时间:2018/12/26
高端光刻机照明系统
Advanced lithographic illumination
智能均匀性校正技术
intelligent uniformity correction
手指阵列式均匀性校正技术
finger arreys uniformity correction
阵列式手指驱动技术
finger array driving technology
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