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投影光刻机中的线阵CCD高速检焦技术研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:  陈昌龙
收藏  |  浏览/下载:39/0  |  提交时间:2015/07/30
纳米光刻中叠栅莫尔条纹检焦技术研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:  邸成良
收藏  |  浏览/下载:63/0  |  提交时间:2015/07/30
基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法 期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 2, 页码: 202-207
作者:  冯金花;  胡松;  李艳丽;  何渝
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2016/11/23
基于锁定放大原理的投影光刻检焦技术研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
谢飞
收藏  |  浏览/下载:32/0  |  提交时间:2014/12/11
纳米投影光刻中的光栅检焦技术研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
陈旺富
收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2014/12/11
光学检测平台的宏微驱动控制系统研究 学位论文
2011, 2011
黄征
收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2016/02/14
基于光闸叠栅条纹的纳米检焦方法 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 8, 页码: 28-32
作者:  严伟;  李艳丽;  陈铭勇;  王建
收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2016/11/23
大面阵CCD图像实时显示系统的设计 期刊论文
微纳电子技术, 2010, 卷号: 47, 期号: 9, 页码: 580-586
作者:  王明富;  杨世洪;  吴钦章
收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2016/11/01
三角形银纳米柱阵列传感乙醇气体方法 期刊论文
光电子.激光, 2010, 期号: 10, 页码: 1570-1573
作者:  马文英;  杨欢;  姚军;  刘娟意;  李飞
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2016/11/22
纳米检焦中双相锁相放大器的Simulink建模与仿真 期刊论文
光子学报, 2010, 卷号: 39, 期号: 3, 页码: 397-402
作者:  谢飞;  唐小萍;  胡松;  严伟
收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2016/11/23


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