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高稳定性定量相位显微技术 期刊论文
激光与光电子学进展, 2020, 卷号: 57, 期号: 20
作者:  温凯;  马英;  张美玲;  王宇;  付驰
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2021/02/07
定量相位显微中分辨率增强技术综述 期刊论文
红外与激光工程, 2019, 卷号: 48, 期号: 6
作者:  郜鹏;  温凯;  孙雪莹;  姚保利;  郑娟娟
收藏  |  浏览/下载:25/0  |  提交时间:2019/09/20
基于超表面的红外偏振相关电磁调控研究 学位论文
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  闫超
收藏  |  浏览/下载:59/0  |  提交时间:2019/06/14
基于散射光暗场显微的基片表面颗粒检测方法研究 学位论文
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  艾立夫
收藏  |  浏览/下载:39/0  |  提交时间:2019/06/13
深紫外光刻投影物镜温度特性研究 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285
作者:  姚长呈;  巩岩
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2017/09/17
接近式表面等离子体透镜光刻分辨力增强原理和方法研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:  张伟
收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2016/12/30
光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268
作者:  巩岩;  姚长呈
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2017/09/17
基于线性规划的光刻机光源优化方法 会议论文
作者:  李思坤;  王磊;  杨朝兴;  王向朝
收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2017/12/25
极紫外光刻物镜系统光学设计研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:  王君
收藏  |  浏览/下载:118/0  |  提交时间:2015/11/30
深紫外光刻投影物镜热像差仿真研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:  骆聪
收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2015/11/30


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