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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 CF_4/Ar感性耦合等离子体增强准原子层刻蚀SiO_2多尺度研究 学位论文 : 大连理工大学, 2018 作者:  杨雪 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/12/02 原子层刻蚀  离子能量角度分布  刻蚀槽形貌演化  深宽比依赖效应   反应物输运与Ar/C4F8等离子体中SiO2刻蚀的精度控制 会议论文 第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01 作者:  张赛谦;  杨雪;  戴忠玲;  王友年 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/02 原子层刻蚀  整体模型  鞘层模型  离子能量角度分布