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期刊论文 [6]
学位论文 [4]
发表日期
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2013 [1]
2009 [1]
2007 [1]
2005 [1]
2004 [1]
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离子束辅助沉积大口径光学薄膜
期刊论文
红外与激光工程, 2015, 卷号: 43, 期号: S1, 页码: 183-188
作者:
艾万君
;
熊胜明
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浏览/下载:38/0
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提交时间:2016/11/21
离子辅助沉积
高真空镀膜设备
大口径光学薄膜
光学特性
膜厚均匀性
黄光激光器聚光元件减反膜的研究
期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2013, 期号: 05, 页码: 7-10
付秀华
;
麻晓丹
;
文大化
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2014/03/07
黄光激光器
双波段减反膜
离子束辅助沉积
有效界面法
离子束辅助工艺中APS源偏转电压对HfO_2薄膜性能的影响
期刊论文
强激光与粒子束, 2009, 卷号: 21, 期号: 1, 页码: 118-122
作者:
申林
;
田俊林
;
刘志国
;
熊胜明
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2016/11/22
离子束技术制备高损伤阈值光学薄膜研究
学位论文
博士, 长春光学精密机械与物理所: 中国科学院长春光学精密机械与物理所, 2007
袁宏韬
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浏览/下载:42/0
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提交时间:2012/03/21
光学薄膜
激光损伤阈值
离子束辅助沉积
双离子束溅射沉积
反应离子束辅助沉积
离子束技术在高功率激光薄膜中的应用
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2005
作者:
张大伟
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2016/11/28
离子束
激光薄膜
离子源
离子束流密度
离子束辅助
损伤阈值
用于薄膜制备的射频宽束离子源的设计
期刊论文
真空科学与技术学报, 2004, 卷号: 24, 期号: 6, 页码: 451-454
尤大伟
;
黄小刚
;
任荆学
;
李安杰
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2014/04/30
宽束
离子源
薄膜制备
光学薄膜
离子束
感应线圈
匹配
射频
镀膜
高性能
电子束、离子辅助和离子束溅射三种工艺对光学薄膜性能的影响
期刊论文
强激光与粒子束, 2003, 卷号: 15, 期号: 9, 页码: 841
作者:
王英剑
;
李庆国
;
范正修
收藏
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2016/11/30
用于辅助镀膜的霍尔等离子体源
期刊论文
光学仪器, 2001, 卷号: 23, 期号: 6, 页码: 58-62
尤大伟
;
黄小刚
;
武建军
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2014/04/30
光学镀膜
离子束辅助镀膜
等离子体加速
离子束辅助沉积制备TiO<,2>-Nb<,2>O<,5>薄膜及其氧敏性能研究
学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 1997
牟海川
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2012/03/06
离子束增强
沉积方法
制备
TiO<
2>
-Nb<
2>
O<
5>
氧敏薄膜
薄膜组分比
氧敏特性
结构
用于离子束辅助镀膜的冷阴极宽束离子源
学位论文
1995
作者:
吴建南
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2020/01/07
冷阴极离子源离子束薄膜
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