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| 硅微悬臂梁谐振式MEMS磁场传感器研究 学位论文
2016
作者: 王同东
  收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 声子晶体点缺陷模式及其传感特性研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 李鹏
收藏 | 浏览/下载：23/0 | 提交时间：2016/04/11
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| 硅基平板声子晶体传感器高灵敏度 学位论文
硕士: 中国科学院大学, 2015
作者: 龙斌
收藏 | 浏览/下载：26/0 | 提交时间：2016/04/11
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| 基于Fano谐振的眼型谐振腔尖锐度研究 学位论文
硕士: 中国科学院大学, 2014
娄小伟
收藏 | 浏览/下载：28/0 | 提交时间：2015/05/03
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| 基于振动式硅微悬臂梁MEMS流体密度传感器的研究 学位论文
2014
作者: 徐龙起
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 基于不确定度分析方法的硅微传感器设计方法研究 期刊论文
计测技术, 2014, 卷号: 34, 页码: 13-16,19
作者: 史慧超; 樊尚春
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2020/01/06
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| 一种硅微谐振式加速度计力学敏感结构设计 会议论文
第十三届全国敏感元件与传感器学术会议论文集中国仪器仪表学会;中国电子学会;中国航空学会;中国生物工程学会, 太原, 2014-10-01
作者: 温悦; 李成; 樊尚春
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2020/01/06
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| 基于不确定度分析方法的硅微传感器设计方法研究 会议论文
第十四届全国压力计量与测试技术学术交流会论文集中国计量测试学会压力计量专委会, 桂林, 2014-10-13
作者: 史慧超; 樊尚春
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2020/01/06
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| 微谐振式压力传感器的差动输出设计与建模 期刊论文
计测技术, 2014, 页码: 11-14,65
作者: 杨朔; 邢维巍
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2020/01/06
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| 基于浓硼自停止腐蚀技术的硅微谐振结构的制备 学位论文
2013, 2013
张豪尔
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2016/01/13
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