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科研机构
上海光学精密机械研究... [3]
电工研究所 [1]
内容类型
学位论文 [4]
发表日期
2016 [1]
2014 [1]
2008 [1]
学科主题
光学工程 [1]
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基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
方伟
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浏览/下载:121/0
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提交时间:2016/11/28
Ptychography
PIE
相位恢复
波像差
光刻投影物镜
极紫外光刻
相干激光通信系统中大气湍流的表征方法和测量技术研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:
周健
收藏
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浏览/下载:53/0
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提交时间:2016/11/28
相干激光通信
大气湍流
外差效率
大气相干长度
剪切干涉法
高分辨率成像系统波像差检测中的图像处理技术研究
学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2008
1刘景峰,电工研究所
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2010/10/18
波像差
相移点衍射干涉仪
Schwarzschild投影物镜
傅立叶变换
干涉图
相位展开 wavefront aberration
phase-shifting point diffraction interferometer(PS/PDI)
Schwarzschild project optics
Fourier-Transform
interferogram
phase unwrapping
基于点衍射干涉仪的成像系统综合像质检测技术
学位论文
作者:
董冠极
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浏览/下载:49/0
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提交时间:2018/12/26
光学检测
Optical Measurement
像差
Aberration
泽尼克多项式
Zernike polynomials
点衍射干涉
Point-diffraction
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