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基于扭摆的微冲量测量方法及实验研究 期刊论文
力学学报, 2022, 卷号: 54, 期号: 03, 页码: 669-677
作者:  杨超;  贺建武;  章楚;  康琦;  段俐
收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2022/06/10
亚微牛级推力测量系统设计及实验研究 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 03, 页码: 526-534
作者:  杨超;  贺建武;  康琦;  段俐
收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2019/09/12
单排差动结构的新型纳米时栅位移传感器 期刊论文
仪器仪表学报, 2017, 页码: 734-740
作者:  彭凯;  于治成;  刘小康;  郑方燕;  蒲红吉
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/11/26
用于MEMS微镜监测的光电集成位置传感芯片的研究 学位论文
2016, 2016
郑明
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2017/06/20
面向电容式传感器线性度标定的柔性微动机构设计 期刊论文
仪器仪表学报, 2016, 期号: 6, 页码: 1210-1217
作者:  张德福;  李显凌;  葛川;  倪明阳;  郭抗
收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2017/09/17
光电侦查平台中电容式角位传感器的应用 期刊论文
信息通信, 2016, 期号: 1, 页码: 31-32
作者:  曹得胜
收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2017/09/17
光电稳定平台角位移高精度测量方法研究 期刊论文
国外电子测量技术, 2015, 期号: 10, 页码: 54-57
作者:  张宇鹏
收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2016/07/06
电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 09, 页码: 2546-2552
作者:  葛川;  张德福;  李朋志;  郭抗;  李佩玥
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/07/06
边缘位移传感器技术研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:  王启蒙
收藏  |  浏览/下载：104/0  |  提交时间：2015/07/07
基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制 期刊论文
实验室研究与探索, 2014, 期号: 12, 页码: 54-57
陈琦; 钟君
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2015/04/17

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