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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
  收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 成像系统倍率高精度测量技术研究 期刊论文
光学学报, 2018, 期号: 07, 页码: 167-176
作者: 董冠极; 唐锋; 王向朝; 冯鹏; 郭福东
收藏 | 浏览/下载：0/0 | 提交时间：2019/09/17
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| 高NA投影光刻物镜波像差检测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 李晶
收藏 | 浏览/下载：64/0 | 提交时间：2015/11/30
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| 基于环带法的非球面检测技术研究 学位论文
硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009
舒亮
收藏 | 浏览/下载：53/0 | 提交时间：2013/11/19
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| 高分辨率成像系统波像差检测中的图像处理技术研究 学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2008
1刘景峰,电工研究所
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2010/10/18
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| 超分辨效应和二次光栅波前测量技术 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2006
作者: 周素梅
收藏 | 浏览/下载：77/0 | 提交时间：2016/11/28
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