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VCSEL激光器与硅基光子集成电路中光栅结构的耦合方法 专利
专利号: CN106950660A, 申请日期: 2017-07-14, 公开日期: 2017-07-14
作者:  田野
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基于激光相变热刻蚀效应的微纳结构制备 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  周奇军
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2016/11/28
基于激光相变热刻蚀效应的微纳结构制备 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  周奇军
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2016/11/28
Ⅰ型-β无掩模激光直写光刻系统 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:  胡永璐
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高斯激光诱导非线性薄膜光场热场特性及超分辨图形刻写研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:  王睿
收藏  |  浏览/下载:35/0  |  提交时间:2016/11/28
一种适用于数字微镜无掩模光刻的图形拼接方法 期刊论文
中国激光, 2012, 卷号: 39, 期号: 6, 页码: 229-233
作者:  朱江平;  胡松;  于军胜;  陈铭勇;  何渝
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2016/11/23
数字灰度投影光刻技术 期刊论文
微纳电子技术, 2009, 卷号: 46, 期号: 3, 页码: 181-185
作者:  赵立新;  严伟;  王建;  胡松;  唐小萍
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数字灰度光刻成像物镜设计 期刊论文
光子学报, 2009, 卷号: 第1期, 页码: P120-124
作者:  陈铭勇;  杜惊雷;  郭小伟;  马延琴;  王景全
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无掩模激光直写纳米光刻机 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:  范永涛
收藏  |  浏览/下载:157/0  |  提交时间:2016/11/28
基于楔条形阳极探测器的单光子成像系统 学位论文
博士: 中国科学院西安光学精密机械研究所, 2008
缪震华
收藏  |  浏览/下载:29/0  |  提交时间:2011/10/10


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