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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 CF_4/Ar感性耦合等离子体增强准原子层刻蚀SiO_2多尺度研究 学位论文 : 大连理工大学, 2018 作者:  杨雪 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/12/02 原子层刻蚀  离子能量角度分布  刻蚀槽形貌演化  深宽比依赖效应   沟道宽长比对深亚微米NMOSFET总剂量辐射与热载流子损伤的影响 期刊论文 物理学报, 2012, 卷号: 61, 期号: 2, 页码: 347-353 作者:  崔江维;  余学峰;  任迪远;  卢健 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/11/29 深亚微米  总剂量辐射  热载流子效应