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像质检测用光学窗口的温度适应性设计与实验 期刊论文
应用光学, 2022, 卷号: 43, 期号: 01, 页码: 30-35
作者:  张磊;  张松;  王海伟;  沙巍;  宋子男
收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2023/05/18
基于光程变化量的反射式光学系统敏感度理论分析与降敏设计方法 期刊论文
光学精密工程, 2021, 卷号: 29, 期号: 01, 页码: 72-83
作者:  孟庆宇;  汪洪源;  王维;  秦子长;  王晓东
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2022/06/29
基于光程变化量的反射式光学系统敏感度理论分析与降敏设计方法 期刊论文
光学精密工程, 2021, 卷号: 29, 期号: 01, 页码: 72-83
作者:  孟庆宇;  汪洪源;  王维;  秦子长;  王晓东
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2022/06/13
大倍率离轴无焦四反光学系统设计 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 01, 页码: 179-188
作者:  陈胜楠;  姜会林;  王春艳;  陈哲
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2021/07/06
投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  赵磊
收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2020/08/24
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2020/08/24
子口径斜率扫描检测技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  赵宪宇
收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2020/08/24
反射式激光共聚焦显微镜性能变尺度评价方法 期刊论文
红外与激光工程, 2019, 卷号: 48, 期号: 03
作者:  戴明;  金夕雅;  王成;  王方雨;  孙强
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2019/12/05
反射式激光共聚焦显微镜性能变尺度评价方法 期刊论文
红外与激光工程, 2019, 卷号: 48, 期号: 03, 页码: 203-208
作者:  王方雨;  孙强;  戴明;  刘昕辉;  王成
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2020/08/24
软X射线掠入射望远镜的成像质量评价 期刊论文
光学精密工程, 2019, 卷号: 27, 期号: 10, 页码: 2136-2143
作者:  刘鹏;  陈波;  张亚超;  何玲平;  王孝东
收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2020/08/24


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