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| 像质检测用光学窗口的温度适应性设计与实验 期刊论文 应用光学, 2022, 卷号: 43, 期号: 01, 页码: 30-35 作者: 张磊; 张松; 王海伟; 沙巍; 宋子男 收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2023/05/18 |
| 基于光程变化量的反射式光学系统敏感度理论分析与降敏设计方法 期刊论文 光学精密工程, 2021, 卷号: 29, 期号: 01, 页码: 72-83 作者: 孟庆宇; 汪洪源; 王维; 秦子长; 王晓东 收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2022/06/29 |
| 基于光程变化量的反射式光学系统敏感度理论分析与降敏设计方法 期刊论文 光学精密工程, 2021, 卷号: 29, 期号: 01, 页码: 72-83 作者: 孟庆宇; 汪洪源; 王维; 秦子长; 王晓东 收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2022/06/13 |
| 大倍率离轴无焦四反光学系统设计 期刊论文 中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 01, 页码: 179-188 作者: 陈胜楠; 姜会林; 王春艳; 陈哲 收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2021/07/06
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| 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 赵磊 收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2020/08/24
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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 张璐 收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2020/08/24
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| 子口径斜率扫描检测技术研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 赵宪宇 收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2020/08/24
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| 反射式激光共聚焦显微镜性能变尺度评价方法 期刊论文 红外与激光工程, 2019, 卷号: 48, 期号: 03 作者: 戴明; 金夕雅; 王成; 王方雨; 孙强 收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2019/12/05
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| 反射式激光共聚焦显微镜性能变尺度评价方法 期刊论文 红外与激光工程, 2019, 卷号: 48, 期号: 03, 页码: 203-208 作者: 王方雨; 孙强; 戴明; 刘昕辉; 王成 收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2020/08/24
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| 软X射线掠入射望远镜的成像质量评价 期刊论文 光学精密工程, 2019, 卷号: 27, 期号: 10, 页码: 2136-2143 作者: 刘鹏; 陈波; 张亚超; 何玲平; 王孝东 收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2020/08/24
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