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| 极紫外与X射线增反膜表面碳沉积去除技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 王依
  收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者: 宋源; 卢启鹏; 龚学鹏; 王依; 彭忠琦
收藏 | 浏览/下载：34/0 | 提交时间：2018/04/09
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| 碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 170-175
作者: 王依; 卢启鹏; 高云国
收藏 | 浏览/下载：43/0 | 提交时间：2018/04/09
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| Pt/4H—SiC肖特基接触的氢等离子体改性研究 会议论文
第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议, 西安, 2010-10-25
作者: 郑康伟; 黄玲琴; 江滢; 王德君
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/24
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| SiC晶圆的ECR氢等离子体清洗研究 会议论文
第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议, 西安, 2010-10-25
作者: 黄玲琴; 江滢; 王德君
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/24
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| 等离子体清洗GaAs和Al_2O_3衬底的RHEED图像分析 期刊论文
华中科技大学学报(自然科学版), 2005, 页码: 88-91
作者: 章家岩; 郎佳红; 秦福文; 顾彪
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2020/01/02
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| 等离子体清洗GaAs和Al2O3衬底的RHEED图像分析 期刊论文
华中科技大学学报（自然科学版）, 2005, 卷号: 33, 页码: 88-91
作者: 章家岩; 郎佳红; 秦福文; 顾彪
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2020/01/02
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| GaN缓冲层上低温生长AlN单晶薄膜 期刊论文
半导体光电, 2003, 卷号: 24, 页码: 32-36
作者: 秦福文; 顾彪; 徐茵; 杨大智
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2020/01/02
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| 氮化铝单晶薄膜的ECR-PEMOCVD低温生长研究 期刊论文
物理学报, 2003, 卷号: 52, 页码: 1240-1244
作者: 秦福文; 顾彪; 徐茵; 杨大智
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2020/01/02
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| 土壤中硫的形态分析及生物有效性研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 1996
陈斌
收藏 | 浏览/下载：312/0 | 提交时间：2011/09/21 |
