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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 微晶硅薄膜制备中等离子体功率的调制作用 期刊论文 2007, 卷号: 18, 期号: 5, 页码: 558 作者:  杨恢东[1] 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/06 甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)  氢化微晶硅(μc-SiH)薄膜  光发射谱  等离子体功率调制作用   HW-MWECR-CVD法制备氢化微晶硅薄膜及其微结构研究 期刊论文 物理学报, 2006, 期号: 11, 页码: 6147-6151 作者:  刘国汉;  丁毅;  朱秀红;  陈光华;  贺德衍 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/04/27 微波电子回旋共振化学气相沉积  氢化微晶硅薄膜  拉曼散射  X射线衍射   Preparation and characterization of hydrogenated microcrystalline silicon films by HW-MWECR-CVD 期刊论文 ACTA PHYSICA SINICA/物理学报, 2006, 卷号: 55, 期号: 11, 页码: 6147-6151 作者:  Liu, GH;  Ding, Y;  Zhu, XH;  Chen, GH;  He, DY 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/05/25 HW-MWECR-CVD  hydrogenated microcrystalline silicon films  Raman scattering  X-ray diffraction   高氢稀释制备微晶硅薄膜微结构的研究 期刊论文 物理学报, 1998, 卷号: 47, 期号: 9, 页码: 1542 郭晓旭; 朱美芳; 刘金龙; 韩一琴; 许怀哲; 董宝中; 生文君; 韩和相 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/11/23 氢气放电无窗输出型光CVD非晶、微晶硅薄膜 期刊论文 半导体学报, 1989, 期号: 10 郭述文; 朱基千; 谭淞生; 王渭源 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/03/29