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| 接近接触式光刻系统中的自动对准技术研究 学位论文
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 张绍宇
  收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2021/06/16
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| 接近式表面等离子体透镜光刻分辨力增强原理和方法研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者: 张伟
收藏 | 浏览/下载：23/0 | 提交时间：2016/12/30
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| 光刻对准中掩模光栅标记成像标定方法 期刊论文
中国激光, 2013, 期号: 1, 页码: 0108002-1-5
作者: 朱江平; 胡松; 于军胜; 唐燕; 周绍林
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2016/11/23
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| 基于等效叠栅的反射式光刻对准模型研究 期刊论文
中国激光, 2012, 卷号: 39, 期号: 9, 页码: 168-172
作者: 朱江平; 胡松; 于军胜; 唐燕; 周绍林
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2016/11/23
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| 基于光栅调制相位成像的纳米对准方法研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
周绍林
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2014/12/11
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| 基于改进粒子滤波的光电目标跟踪算法研究 期刊论文
微纳电子技术, 2010, 卷号: 47, 期号: 10, 页码: 634-637+642
作者: 熊茂涛; 张勇; 吴钦章
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2016/11/01 |
| 表面等离子体超衍射分辨力光刻技术研究 学位论文
博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009
杨勇
收藏 | 浏览/下载：59/0 | 提交时间：2013/11/19
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| 纳米光刻对准方法及其原理 期刊论文
微纳电子技术, 2008, 卷号: 45, 期号: 4, 页码: 222-230
周绍林; 唐小萍; 胡松; 马平; 陈旺富; 杨勇; 严伟
收藏 | 浏览/下载：80/0 | 提交时间：2015/05/18 |
| 微电子制芯领域中磁悬浮精密定位平台的研究 学位论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2004
作者: 宋文荣
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2012/03/21
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| 高精度视频图像对准系统研究 学位论文
硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2000
杨维全
收藏 | 浏览/下载：23/0 | 提交时间：2013/11/19
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