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| 大口径石英基底衍射透镜的高精度制备方法 期刊论文
光子学报, 2020, 卷号: 49, 期号: 5, 页码: 178-187
作者: 巩畅畅; 范斌; 邵俊铭; 刘鑫
  收藏 | 浏览/下载：19/0 | 提交时间：2021/05/11
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| 多波长半导体分布式反馈激光器阵列及其制作方法 专利
专利号: CN108110613B, 申请日期: 2019-07-19, 公开日期: 2019-07-19
作者: 周旭亮; 李召松; 王梦琦; 王嘉琪; 于红艳
收藏 | 浏览/下载：29/0 | 提交时间：2019/12/24 |
| 基于机器视觉的可变光栏的测量技术研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者: 谢红
收藏 | 浏览/下载：22/0 | 提交时间：2017/01/06
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| 接近式表面等离子体透镜光刻分辨力增强原理和方法研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者: 张伟
收藏 | 浏览/下载：23/0 | 提交时间：2016/12/30
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| 用于超薄半导体芯片接触式曝光的方法 专利
专利号: CN103197507B, 申请日期: 2015-05-06, 公开日期: 2015-05-06
作者: 梁平; 胡颖; 刘俊岐; 刘峰奇; 王利军
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2019/12/26 |
| 用于超薄半导体芯片接触式曝光的方法 专利
专利号: CN103197507B, 申请日期: 2015-05-06, 公开日期: 2015-05-06
作者: 梁平; 胡颖; 刘俊岐; 刘峰奇; 王利军
收藏 | 浏览/下载：7/0 | 提交时间：2019/12/26 |
| ABM光刻机/曝光机 仪器设备
联系方式: 010-82543971, 建成日期: 2014
作者: 黄先富
收藏 | 浏览/下载：26/0 | 提交时间：2019/09/17 |
| 一种大高宽比衍射光学元件的制作方法 专利
专利号: CN201010544430.1, 申请日期: 2014-03-26, 公开日期: 2012-05-23
作者: 谢常青; 刘明; 朱效立; 史丽娜; 李海亮
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2015/05/14 |
| 一种接触式曝光掩膜版 专利
申请日期: 2012-01-01,
作者: 信恩龙[1]; 李喜峰[2]; 张建华[3]
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/04/30 |
| 基于改进粒子滤波的光电目标跟踪算法研究 期刊论文
微纳电子技术, 2010, 卷号: 47, 期号: 10, 页码: 634-637+642
作者: 熊茂涛; 张勇; 吴钦章
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2016/11/01 |
