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科研机构
厦门大学 [11]
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期刊论文 [5]
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2011 [3]
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2004 [3]
2003 [2]
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微机械隧道陀螺仪的控制系统研究
学位论文
2011, 2010
刘益芳
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2016/02/14
微机械隧道陀螺仪
控制策略
LQG控制
LQG预测控制
隧道效应
Micromachined tunneling gyroscope
Control strategy
LQG control
Previewed LQG Control
Tunneling effect
微机械隧道陀螺的振动特性测试
期刊论文
2011
李文望
;
王凌云
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2016/05/17
微机械隧道陀螺仪
驱动模态
敏感模态
micro-machined tunneling gyroscope
driving mode
sensing mode
微机械隧道陀螺仪的时变线性二次高斯预测控制
期刊论文
2011
刘益芳
;
王凌云
;
孙道恒
收藏
  |  
浏览/下载:6/0
  |  
提交时间:2016/05/17
微机械隧道陀螺仪
线性二次高斯(LQG)预测控制
隧道效应
闭环系统
micromechanical tunneling gyroscope
predictive-Linear Quadratic Gauss(LQG) control
tunneling effect
closed-loop system.
微机械隧道陀螺仪关键工艺及特性研究
学位论文
2009, 2009
王凌云
收藏
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浏览/下载:6/0
  |  
提交时间:2016/02/14
微机械隧道陀螺仪
硅尖
DDSOG
硅片减薄
隧道效应
Micro-machined tunneling gyroscope
Silicon tip
DDSOG
Silicon wafer etch-back
tunneling effect
新型微机械隧道陀螺仪的设计和工艺制备
期刊论文
2009
李文望
;
孙道恒
;
王凌云
收藏
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2016/05/17
隧道效应
陀螺
DDSOG
隧道传感器
tunneling effect
gyroscope
DDSOG
tunneling sensor
扇形梳齿驱动式体硅微机械隧道陀螺仪的设计与制备(英文)
期刊论文
2009
王凌云
;
李文望
;
庄根煌
;
孙道恒
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2016/05/17
隧道效应
陀螺仪
DDSOG
隧道传感器
tunneling effect
gyroscope
Deep Dry Silicon on Glass(DDSOG)
tunneling sensor
微机械隧道陀螺仪中微弱信号的检测技术
期刊论文
2004
郑剑铭
;
王凌云
;
王明亮
;
孙道恒
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2011/04/26
陀螺仪
隧道电流
微弱信号检测
gyroscope
tunneling current
weak signal detection
微机械隧道陀螺仪信号检测与控制系统的研究
学位论文
2004, 2004
郑剑铭
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2016/02/14
微机械陀螺仪
微弱信号
反馈控制
Micro-machined gyroscope
Weak signal
Feedback control
微机械隧道陀螺仪悬臂梁的微电铸工艺实验研究
学位论文
2004, 2004
王明亮
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2016/02/14
微机械隧道陀螺仪
悬臂梁
微电铸
micro-machined tunneling gyroscope
cantilever
microelectroforming
用于微机械隧道陀螺仪的硅尖的制备工艺的研究
学位论文
2003, 2003
王艳华
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2016/02/14
陀螺仪
硅尖
刻蚀
Gyroscope
Silicon tip
Etch
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