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| EAST全超导托卡马克高约束稳态运行实验研究进展 期刊论文
中国科学:物理学、力学、天文学, 2019, 卷号: 049
作者: 万宝年; 徐国盛
  收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2020/10/26
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| 射频等离子体主动恢复第一镜反射率实验及机理研究 学位论文
博士, 合肥: 中国科学技术大学, 2017
作者: 彭姣
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2018/01/17 |
| 射频热等离子体反应器模拟及优化 学位论文
北京: 中国科学院研究生院, 2017
作者: 何家平
收藏 | 浏览/下载：21/0 | 提交时间：2018/06/13
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| 多晶硅薄膜的制备方法以及光电器件 专利
专利号: CN106653572A, 申请日期: 2017-05-10, 公开日期: 2017-05-10
作者: 芦子玉; 邬苏东; 叶继春; 高平奇; 丁丽
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2018/01/11 |
| 碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 170-175
作者: 王依; 卢启鹏; 高云国
收藏 | 浏览/下载：43/0 | 提交时间：2018/04/09
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| 射频容性耦合SiH4/Ar放电中反转电场及电子能量分布的模拟 会议论文
第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01
作者: 王喜凤; 宋远红; 戴忠玲; 王友年
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 低气压射频等离子体研究进展 会议论文
第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01
作者: 刘永新; 赵凯; 温德奇; 刘刚虎; 李宏
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 细长圆管中低气压氩气辉光放电等离子体特性的数值研究 会议论文
第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01
作者: 刘悦; 闫兆鸿; 李力波
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 占空比对脉冲调制射频容性耦合氩气放电的影响 会议论文
第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01
作者: 常莉杰; 杨莎莉; 姜巍; 卢新培; 宋远红
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/12/02
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