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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 双面接触式电容压力传感器的设计及制造工艺流程 期刊论文 2001 许高攀; 陈广文; 胡国清; 李志博 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2011/04/26 双面接触式电容压力传感器  原理  工艺流程  自停止腐蚀  Double Sided Touch Mode Capacitive Pressure Sensor  Characteristics  Fabrication Process  Silicon-Silicon Bonding  Self-etch Stop Technique