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| 超精密运动台半实物仿真系统及方法 专利
申请日期: 2021-06-25,
作者: 李庆鑫; 王福东; 赵冰洁; 李子阳; 张华良
  收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2021/07/17 |
| 接近接触式光刻系统中的自动对准技术研究 学位论文
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 张绍宇
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2021/06/16
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| 光刻机 信息时代的制造之王 期刊论文
百科知识, 2020, 期号: 32, 页码: 4-9
作者: 唐燕; 胡松; 何渝
收藏 | 浏览/下载：23/0 | 提交时间：2021/05/11
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| 一种泛光照明模组的晶圆级封装结构及封装方法 专利
专利号: CN110190036A, 申请日期: 2019-08-30, 公开日期: 2019-08-30
作者: 李卫士; 杨超
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2019/12/30 |
| 全球光刻机产业发展分析报告 研究报告
2019
作者: 白光祖 ; 吴新年; 郑玉荣; 靳军宝; 付爽
收藏 | 浏览/下载：19/0 | 提交时间：2019/12/19 |
| 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 赵磊
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 先进光刻机中调焦调平系统测量精度研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2019
作者: 范伟
收藏 | 浏览/下载：49/0 | 提交时间：2019/09/04 |
| 全球光刻机产业发展态势分析2019 研究报告
2019
作者: 郑玉荣; 王艳妮; 白光祖; 吴新年; 权学峰
收藏 | 浏览/下载：29/0 | 提交时间：2019/07/22
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| 基于矩形喷嘴的光耦合纳米颗粒胶体射流抛光仿真及试验研究 学位论文
2019
作者: 张航航
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2020/11/05
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