QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：大连理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Process for fabricating microactuator membranes of piezoelectric inkjet print head using multi-step deep reactive ion etching process 期刊论文 MICRO & NANO LETTERS, 2017, 卷号: 12, 页码: 482-485 作者:  Wang, Wenqiang;  Li, Chen;  Xu, Wencai;  Zou, Helin 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/02 microactuators  membranes  ink jet printing  sputter etching  silicon  elemental semiconductors  microactuator membranes  piezoelectric inkjet print head  multistep deep reactive ion etching process  multilayered structures  multilayered actuator membranes  silicon on insulator wafers  notching effect  Si  SiO2   A Multi-Scale Study on Silicon-Oxide Etching Processes in C4F8/Ar Plasmas 期刊论文 PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY, 2016, 卷号: 18, 页码: 666-673 作者:  Sui Jiaxing;  Zhang Saiqian;  Liu Zeng;  Yan Jun;  Dai Zhongling 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/09 plasma etching  multi-scale model  trench profile  surface process