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大连理工大学 [1]
安徽大学 [1]
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期刊论文 [2]
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2017 [2]
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发表日期:2017
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Process for fabricating microactuator membranes of piezoelectric inkjet print head using multi-step deep reactive ion etching process
期刊论文
MICRO & NANO LETTERS, 2017, 卷号: 12, 页码: 482-485
作者:
Wang, Wenqiang
;
Li, Chen
;
Xu, Wencai
;
Zou, Helin
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提交时间:2019/12/02
microactuators
membranes
ink jet printing
sputter etching
silicon
elemental semiconductors
microactuator membranes
piezoelectric inkjet print head
multistep deep reactive ion etching process
multilayered structures
multilayered actuator membranes
silicon on insulator wafers
notching effect
Si
SiO2
Monitoring the Etching Process of Hi-Bi Fiber through a Fiber Loop Mirror
期刊论文
IEEE Photonics Journal, 2017, 卷号: Vol.9 No.6, 页码: 1-8
作者:
Hui Wang
;
Benli Yu
;
Danling Wu
;
Jun Zhu
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提交时间:2019/04/22
Etching
process
Hi-Bi
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birefringence
fiber
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mirror
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