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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：南开大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 电子与硅烷分子碰撞的散射截面对微晶硅生长影响 期刊论文 四川大学学报：自然科学版, 2009, 卷号: 第46卷, 页码: 1101-1106 作者:  文书堂;  姚鹏;  卢景霄;  李云居;  李维强 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/03/01 甚高频化学气相沉积  微晶硅薄膜  散射截面  高速生长