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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：四川大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 One-step lithography for fabrication of multifunction diffractive structures with grey-tone mask 期刊论文 Microelectronic Engineering, 2002, 卷号: Vol.61-62, 页码: 165-171 作者:  Fuhua Gao;  Jun Yao;  Yangsu Zeng;  Shiwei Xie;  Yongkang Guo and Zheng Cui 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/02/25 Grey-tone photolithography  Grey scale mask  Beam sampling grating  Colour separation grating