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上海微系统与信息技... [45]
内容类型
期刊论文 [45]
发表日期
2012 [11]
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2009 [2]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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Influence of Si nanocrystal embedded in BOX on radiation and electrical properties of SOI wafer
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2012, 卷号: 272, 页码: 257-260
Bi, DW
;
Zhang, ZX
;
Chen, M
;
Wu, AM
;
Wei, X
;
Wang, X
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2013/04/17
SOI
Ion implantation
Si nanocrystal
Pseudo-MOS
Transportation of carriers in silicon implanted SiO2 films during ionizing radiation
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2012, 卷号: 272, 页码: 266-270
Chen, M
;
Zhang, ZX
;
Wei, X
;
Bi, DW
;
Zou, SC
;
Wang, X
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2013/04/17
Silicon dioxide
Ion implantation
Total ionizing dose
Carrier transportation
Radiation-induced shallow trench isolation leakage in 180-nm flash memory technology
期刊论文
MICROELECTRONICS RELIABILITY, 2012, 卷号: 52, 期号: 1, 页码: 130-136
Ning, BX
;
Zhang, ZX
;
Liu, ZL
;
Hu, ZY
;
Chen, M
;
Bi, DW
;
Zou, SC
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2013/04/17
The influence of channel length on total ionizing dose effect in deep submicron technologies
期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA, 2012, 卷号: 61, 期号: 5, 页码: 50702
Hu, ZY
;
Liu, ZL
;
Shao, H
;
Zhang, ZX(重点实验室)
;
Ning, BX
;
Bi, DW(重点实验室)
;
Chen, M
;
Zou, SC(重点实验室)
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浏览/下载:50/0
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提交时间:2013/05/10
Physics
Multidisciplinary
Plasma enhanced atomic layer deposition of HfO2 with in situ plasma treatment
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 93, 页码: 15-18
Xu, DW
;
Cheng, XH
;
Zhang, YW
;
Wang, ZJ
;
Xia, C
;
Cao, D
;
Yu, YH
;
Shen, DS
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2013/04/17
PEALD
HfO2
Plasma treatment
High-k
The influence of channel length on total ionizing dose effect in deep submicron technologies
期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA, 2012, 卷号: 61, 期号: 5, 页码: 50702
Hu, ZY
;
Liu, ZL
;
Shao, H
;
Zhang, ZX
;
Ning, BX
;
Bi, DW
;
Chen, M
;
Zou, SC
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2013/04/17
total ionizing dose
shallow trench isolation
oxide trapped charge
metal-oxide-semiconductor field effect transistor
Realization of 850 V breakdown voltage LDMOS on Simbond SOI
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 91, 页码: 102-105
Wang, ZJ
;
Cheng, XH
;
He, DW
;
Xia, C
;
Xu, DW
;
Yu, YH
;
Zhang, D
;
Wang, YY
;
Lv, YQ
;
Gong, DW
;
Shao, K
收藏
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2013/04/17
SOI
Simbond
High voltage device
LDMOS
Influence of Si nanocrystal embedded in BOX on radiation and electrical properties of SOI wafer
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2012, 卷号: 272, 页码: 257-260
Bi, DW(重点实验室)
;
Zhang, ZX(重点实验室)
;
Chen, M
;
Wu, AM(重点实验室)
;
Wei, X
;
Wang, X(重点实验室)
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2013/05/10
Instruments & Instrumentation
Physics
Physics
Nuclear Science & Technology
Atomic
Nuclear
Molecular & Chemical
Plasma enhanced atomic layer deposition of HfO2 with in situ plasma treatment
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 93, 页码: 15-18
Xu, DW
;
Cheng, XH
;
Zhang, YW
;
Wang, ZJ
;
Xia, C
;
Cao, D
;
Yu, YH
;
Shen, DS
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2013/05/10
Engineering
Physics
Electrical & Electronic
Nanoscience & Nanotechnology
Applied
Optics
Transportation of carriers in silicon implanted SiO2 films during ionizing radiation
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2012, 卷号: 272, 页码: 266-270
Chen, M
;
Zhang, Z(重点实验室)X
;
Wei, X
;
Bi, DW(重点实验室)
;
Zou, S(重点实验室)C
;
Wang, X(重点实验室)
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2013/05/10
Instruments & Instrumentation
Physics
Physics
Nuclear Science & Technology
Atomic
Nuclear
Molecular & Chemical
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