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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Micro-/Nanocombined Gas Sensors With Functionalized Mesoporous Thin Film Self-Assembled in Batches Onto Resonant Cantilevers 期刊论文 IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS, 2012, 卷号: 59, 期号: 12, 页码: 4881-4887 Yu, HT; Xu, PC; Xia, XY; Lee, DW; Li, XX 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2013/04/23 Chemical sensor  in-wall modification  mesoporous thin film (MTF)  microelectromechanical systems (MEMS)  resonant cantilever   Nano-thick resonant cantilevers with a novel specific reaction-induced frequency-increase effect for ultra-sensitive chemical detection 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2010, 卷号: 20, 期号: 5, 页码: 55022-55022 Yang, YL; Xia, XY; Gan, XH; Xu, PC; Yu, HT; Li, XX 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2011/12/17 SURFACE STRESS  SENSORS   Nano-thick resonant cantilevers with a novel specific reaction-induced frequency-increase effect for ultra-sensitive chemical detection 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2010, 卷号: 20, 期号: 5 Article Number, 页码: 055022 Yang, YL; Xia, XY; Gan, XH; Xu, PC; Yu, HT; Li, XX 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/05/12