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光电技术研究所 [12]
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期刊论文 [10]
会议论文 [2]
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专题:光电技术研究所
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Spatial Modulation-Assisted Scanning White-Light Interferometry for Noise Suppression
期刊论文
IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2018, 卷号: 30, 期号: 4, 页码: 379-382
作者:
Deng, Qinyuan
;
Liu, Junbo
;
Tang, Yan
;
Zhou, Yi
;
Yang, Yong
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2019/08/23
Surface measurement
noise suppression
spatial modulation
Spatial modulation assisted scanning white-light interferometry for noise suppression
期刊论文
IEEE Photonics Technology Letters, 2017
作者:
Deng, Qinyuan
;
Liu, Junbo
;
Tang, Yan
;
Zhou, Yi
;
Yang, Yong
收藏
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浏览/下载:21/0
  |  
提交时间:2018/11/20
Bandpass filters - Frequency domain analysis - Interferometry - Light sources - Scanning - Signal to noise ratio - Spurious signal noise - Surface measurement
Novel Quadruple-Band Microwave Metamaterial Absorber
期刊论文
IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2015, 卷号: 7, 期号: 1
作者:
Wang, Nan
;
Tong, Junmin
;
Zhou, Weicheng
;
Jiang, Wei
;
Li, Jinlong
收藏
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浏览/下载:42/0
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提交时间:2015/07/10
Metamaterials
absorber
subwavelength structures
Novel quadruple-band microwave metamaterial absorber
期刊论文
IEEE Photonics Journal, 2015, 卷号: 7, 期号: 1, 页码: 7029014
作者:
Wang, Nan
;
Tong, Junmin
;
Zhou, Weicheng
;
Jiang, Wei
;
Li, Jinlong
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2016/11/23
Study of the influence of the shape of projection lens focal plane on the focus control of advanced lithography
期刊论文
OPTIK, 2014, 卷号: 125, 期号: 22, 页码: 6775-6777
作者:
Li, Jinlong
;
Hu, Song
;
Zhao, Lixin
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浏览/下载:10/0
  |  
提交时间:2015/07/10
Focal plane
PGFM
Focus control
Lithography
Study of the influence of the shape of projection lens focal plane on the focus control of advanced lithography
期刊论文
Optik, 2014, 卷号: 125, 期号: 22, 页码: 6775-6777
作者:
Li, Jinlong
;
Hu, Song
;
Zhao, Lixin
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2016/11/23
A scenes recognition method based on image complexity
会议论文
Proceedings of SPIE: 7th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Optical Test and Measurement Technology and Equipment, 2014
作者:
Song, Qinghuan
;
Chen, Zhongbi
;
Sun, Shaohua
;
Hu, Jinlong
;
Cheng, Hua
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2016/11/24
Single closed fringe pattern phase demodulation in alignment of nanolithography
期刊论文
OPTIK, 2013, 卷号: 124, 期号: 9, 页码: 818-823
作者:
Xu, Feng
;
Hu, Song
;
Yang, Yong
;
Li, Jinlong
;
Li, Lanlan
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2015/04/17
Alignment
Closed fringe
Phase demodulation
2-D wavelet ridge
A new synchronization control method of wafer and reticle stage in step and scan lithographic equipment
期刊论文
OPTIK, 2013, 卷号: 124, 期号: 24, 页码: 6861-6865
作者:
Li, Lanlan
;
Hu, Song
;
Zhao, Lixin
;
Ma, Ping
;
Li, Jinlong
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浏览/下载:36/0
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提交时间:2015/04/17
Scanner
Synchronization error
Tracking error
Phase difference
Single closed fringe pattern phase demodulation in alignment of nanolithography
期刊论文
Optik, 2013, 卷号: 124, 期号: 9, 页码: 818-823
作者:
Xu, Feng
;
Hu, Song
;
Yang, Yong
;
Li, Jinlong
;
Li, Lanlan
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2016/11/23
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