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Development of piezoelectric three-dimensional dynamometer for φ300mm wafer grinder 会议论文
The 5th International Conference on Manufacturing Science and Engineering
作者:  Zhang J(张军);  Qian M(钱敏);  Kang RK(康仁科);  Ren ZJ(任宗金)
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A Novel Piezoelectric Grinding Dynamometer for Monitoring Ultra-precision Grinding of Silicon Wafers 会议论文
Advanced Materials Research
作者:  Zhang J(张军);  Qian M(钱敏);  Kang RK(康仁科)
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磨削测力仪在机标定方法和水平力加载器 专利
申请日期: 2010-01-01, 公开日期: 2011-05-04
作者:  钱敏;  张军;  刘博;  康仁科;  郭东明
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可调式测力仪标定加载台的布局方法及装置 专利
申请日期: 2010-01-01, 公开日期: 2010-06-23
作者:  戴恒震;  钱敏;  张军;  康仁科;  郭东明
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用于硅片超精密磨床的压电式磨削力测量装置 专利
申请日期: 2010-01-01,
作者:  钱敏;  张军;  康仁科;  刘博;  朱祥龙
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用于硅片超精密磨床的压电式磨削力测量装置 专利
申请日期: 2009-01-01, 公开日期: 2010-06-02
作者:  钱敏;  张军;  康仁科;  刘博;  朱祥龙
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