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科研机构
大连理工大学 [3]
内容类型
期刊论文 [2]
会议论文 [1]
发表日期
2011 [3]
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射频磁控溅射制备Mn掺杂ZnO薄膜的结构与光学性能
期刊论文
功能材料, 2011, 卷号: 42, 页码: 536-540
作者:
张欢欢
;
李智
;
苗春雨
;
马春雨
;
张庆瑜
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/12/18
Mn掺杂ZnO薄膜
射频磁控溅射
微结构
光学特性
射频磁控溅射制备HfLaO薄膜结构和光学性能研究
期刊论文
无机材料学报, 2011, 卷号: 26, 页码: 1281-1286
作者:
李智
;
苗春雨
;
马春雨
;
张庆瑜
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/18
HfLaO薄膜
磁控溅射
热学稳定性
光学性能
反应射频磁控溅射法制备HfTaO薄膜的结构和光学性能
会议论文
2011中国材料研讨会, 中国北京, 2011-05-17
作者:
苗春雨
;
李智
;
李树林
;
马春雨
;
张庆瑜
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/18
HfTaO薄膜
磁控溅射
光学性能
热学稳定性
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