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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 内容类型：期刊论文    专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Study of sigma-shaped source/drain recesses for embedded-SiGe pMOSFETs 期刊论文 Microelectronic Engineering, 2017 作者:  Zhu HL(朱慧珑);  Xu QX(徐秋霞);  Li JF(李俊峰);  Zhao C(赵超);  Henry Homayoun Radamson 收藏  |  浏览/下载：48/0  |  提交时间：2018/07/09 Integration of Selective Epitaxial Growth of SiGe/Ge layers in 14nm Node FinFETs 期刊论文 ECS Transactions, 2016 作者:  Yin HX(殷华湘);  Wang GL(王桂磊);  Luo J(罗军);  Qin ZL(秦长亮);  Cui HS(崔虎山) 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2017/05/09 Investigation of TiAlC by Atomic Layer Deposition as N Type 期刊论文 ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2015 作者:  Cui HS(崔虎山);  Xiang JJ(项金娟);  Li TT(李亭亭);  Zhang YB(张严波);  Wang XL(王晓磊) 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/05/31 Investigation of TaN as the wet etch stop layer for HKMG-last integration in the 22 nm and beyond nodes CMOS technology 期刊论文 Vacuum, 2015 作者:  Cui HS(崔虎山);  Luo J(罗军);  Xu J(许静);  Gao JF(高建峰);  Xiang JJ(项金娟) 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/05/31