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科研机构
上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
会议论文 [2]
发表日期
2011 [2]
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MONOLITHIC-INTEGRATED SILICON BULK-MICROMACHINED ACCELEROMETER AND PRESSURE-SENSOR FOR TIRE-PRESSURE-MONITORING-SYSTEM (TPMS) APPLICATION
会议论文
Transducers’11:The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2011
Jiachou Wang and Xinxin Li
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提交时间:2012/05/04
A SINGLE-WAFER-BASED SINGLE-SIDED BULK-MICROMACHINING TECHNIQUE FOR HIGH-YIELD AND LOW-COST VOLUME PRODUCTION OF PRESSURE SENSORS
会议论文
Transducers’11:The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2011
Jiachou Wang and Xinxin Li
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提交时间:2012/05/04
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