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Integrated optical micro-electromechanical systems and methods of fabricating and operating the same 专利
专利号: US20020105699A1, 申请日期: 2002-08-08, 公开日期: 2002-08-08
作者:  MIRACKY, ROBERT F.;  REED, JASON D.;  HU, KAI;  HILBERT, CLAUDE
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Integrated optical micro-electromechanical systems and methods of fabricating and operating the same 专利
专利号: US20020105699A1, 申请日期: 2002-08-08, 公开日期: 2002-08-08
作者:  MIRACKY, ROBERT F.;  REED, JASON D.;  HU, KAI;  HILBERT, CLAUDE
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